擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器金屬墊片_半導(dǎo)體VCR過(guò)濾墊片_密封超純凈接頭墊片
MF系列儀器保護(hù)專(zhuān)用過(guò)濾器、全金屬材質(zhì)、專(zhuān)為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過(guò)濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門(mén)及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護(hù)敏感氣體組件、延長(zhǎng)設(shè)備壽命、預(yù)防因微粒污染導(dǎo)致的泄露風(fēng)險(xiǎn)。可選擇低壓型或高壓型、也可在現(xiàn)有配管上安裝、為精密設(shè)備提供經(jīng)濟(jì)高效的防污屏障。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
2、可以作為表面密封的過(guò)濾器、所以不需要額外的工作(切割/焊接管道用于過(guò)濾器安裝)
3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
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產(chǎn)品參數(shù)
| 濾芯材質(zhì)?? | ? 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體/墊片材質(zhì) | ? 316L不銹鋼 | |
| 表面處理??? | 內(nèi)表面??? | 拋光+電解Ras0.2um | 最高使用溫度??? | ?400°C |
| 外表面??? | ? Ra < 1.бum?? | |||
| 顆粒攔截粒徑?? | ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm (參考MPPS，所有顆粒) |
顆粒攔截粒徑?? | 20.3um | |
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