SF系列IGS面板專用過濾器、用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)、兼容C型和W型多種密封規(guī)格、實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾、保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量、適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造、堅固耐用、緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)。采用符合SEMI標準的表面安裝元件、便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級、安裝維護便捷高效。

產(chǎn)品特點

●??整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

●??小型化設計、結(jié)構(gòu)緊湊、不占用空間優(yōu)異的氣體置換和解吸特性

●??耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

●???電解拋光316L不銹鋼外殼

●??安裝與檢修便捷高效

●??采用機械密封、結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無焊接

應用領域

● ?半導體制造

在半導體制造中，氣體的純凈度直接影響芯片的質(zhì)量和性能。SF系列IGS面板專用過濾器能夠有效去除氣體中的雜質(zhì)，確保氣體的高純度，從而提高芯片的良品率和生產(chǎn)效率。

● ?集成氣體輸送與控制系統(tǒng)

該過濾器兼容C型和W型多種密封規(guī)格，能夠無縫集成到現(xiàn)有的氣體輸送與控制系統(tǒng)中，實現(xiàn)高效的氣體凈化和輸送。

● ?設備升級與模塊化設計

采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級。其緊湊的體型和便捷的安裝維護特性，使其成為設備升級的理想選擇。

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