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氣體專用過濾器,以 0.003μm 過濾精度護航超高純氣體工藝!

在現(xiàn)代工業(yè)進程中,眾多領(lǐng)域?qū)τ诔呒儦怏w的需求日益增長,尤其是半導(dǎo)體、制藥、電子等行業(yè),氣體純度直接關(guān)乎產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)成敗。在保障超高純氣體質(zhì)量的復(fù)雜體系里,恒歌 BF 系列過濾器憑借其 0.003μm 的卓越過濾精度,成為守護超高純氣體工藝的核心力量。

 

一、關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域的嚴(yán)苛需求

1、半導(dǎo)體制造:芯片制造的納米級精度保障

半導(dǎo)體制造堪稱當(dāng)今科技產(chǎn)業(yè)的皇冠明珠,芯片制造過程對環(huán)境與原材料純凈度要求近乎苛刻。在光刻、蝕刻、薄膜沉積等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),哪怕極其微量的雜質(zhì)顆粒都可能引發(fā)芯片線路短路、斷路等嚴(yán)重缺陷,導(dǎo)致芯片性能下降甚至報廢。例如,在先進制程的光刻工藝中,光源的波長不斷縮短至深紫外乃至極紫外波段,這要求光刻氣體的純度達到 ppt(萬億分之一)級別。任何大于 0.003μm 的顆粒雜質(zhì)一旦進入光刻系統(tǒng),就會在芯片表面形成瑕疵,干擾光的傳播與成像,使得芯片圖案的精度無法達到納米級別的設(shè)計要求。BF 系列過濾器以其無與倫比的過濾精度,將光刻氣體中的雜質(zhì)顆粒拒之門外,為芯片制造的每一步納米級精度操作提供穩(wěn)定、純凈的氣體環(huán)境,大幅提升芯片的良品率與性能表現(xiàn)。

2、制藥行業(yè):藥品質(zhì)量與安全的源頭保障

藥品生產(chǎn)關(guān)乎生命健康,其對原料氣體的純凈度要求不容有絲毫妥協(xié)。在無菌藥品的凍干、罐裝工藝以及藥品合成過程中,使用的壓縮空氣、惰性保護氣體等必須經(jīng)過嚴(yán)格過濾,以防止微生物、塵埃粒子等雜質(zhì)污染藥品。微生物一旦混入藥品,可能在儲存過程中滋生繁殖,引發(fā)藥品變質(zhì);而塵埃粒子可能影響藥品的外觀、溶解性以及藥效。以注射劑生產(chǎn)為例,BF 系列過濾器能夠精準(zhǔn)過濾掉氣體中的微生物和亞微米級別的塵埃粒子,確保藥品在生產(chǎn)過程中始終處于無菌、無塵的環(huán)境,從源頭上保障藥品的質(zhì)量與安全性,滿足藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范(GMP)的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。

3、電子元器件制造:高精度電子設(shè)備的性能基石

隨著電子產(chǎn)品不斷向小型化、高性能化發(fā)展,電子元器件的制造精度也在持續(xù)提升。在電容器、電阻器、傳感器等電子元器件的生產(chǎn)過程中,需要使用高純氣體進行氣相沉積、刻蝕等工藝。以制造高精度的 MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器為例,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)尺寸往往在微米甚至納米量級,氣體中的雜質(zhì)顆粒極易在沉積過程中附著在傳感器表面,改變其物理特性,影響傳感器的靈敏度、精度和穩(wěn)定性。BF 系列過濾器的 0.003μm 過濾精度,能夠有效凈化工藝氣體,確保電子元器件制造過程的高純度環(huán)境,為生產(chǎn)高性能、高可靠性的電子設(shè)備奠定堅實基礎(chǔ)。

氣體2

二、BF 系列過濾器的技術(shù)優(yōu)勢剖析

1、先進的過濾介質(zhì)與結(jié)構(gòu)設(shè)計

BF 系列過濾器采用了創(chuàng)新性的多柱狀或疊盤狀過濾介質(zhì)構(gòu)型,這種獨特設(shè)計極大地增加了過濾介質(zhì)的表面積,使氣體與過濾介質(zhì)能夠充分接觸。同時,過濾介質(zhì)的材質(zhì)選用高品質(zhì)的 316L 不銹鋼,經(jīng)過精密加工處理,形成了孔徑均一且微小的孔隙結(jié)構(gòu),其最小孔徑可達 0.003μm。當(dāng)超高純氣體通過過濾器時,雜質(zhì)顆粒在機械攔截、慣性碰撞、擴散吸附等多種過濾機制的共同作用下,被高效地捕獲在過濾介質(zhì)表面或內(nèi)部。多柱狀或疊盤狀結(jié)構(gòu)還確保了在高氣體流量下,過濾器依然能夠保持低阻損,使氣體能夠順暢通過,既保證了過濾效率,又不影響生產(chǎn)過程中的氣體供應(yīng)穩(wěn)定性。

2、嚴(yán)格的制造工藝與質(zhì)量控制

為了實現(xiàn) 0.003μm 的超高過濾精度,恒歌在 BF 系列氣體過濾器的制造過程中遵循極其嚴(yán)格的工藝流程和質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。從原材料的采購開始,就對 316L 不銹鋼的成分、純度進行嚴(yán)格檢測,確保其符合高品質(zhì)要求。在加工過程中,運用先進的精密加工技術(shù),對過濾介質(zhì)的孔隙尺寸、形狀進行精確控制,保證每一個過濾器的過濾性能一致性。每一臺 BF 系列過濾器在出廠前都要經(jīng)過 100% 完整性測試和 100% 氨氣檢漏測試。完整性測試采用專業(yè)的檢測設(shè)備和方法,對過濾介質(zhì)是否存在破損、泄漏等缺陷進行全面檢查;氨氣檢漏測試則利用氨氣分子的高擴散性,檢測過濾器的密封性,確保在實際使用過程中,氣體不會從過濾器的連接處或其他部位泄漏,從而保證過濾效果的可靠性和穩(wěn)定性。

 

三、持續(xù)創(chuàng)新,引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展

在未來,恒歌將持續(xù)投入研發(fā)力量,不斷優(yōu)化 氣體過濾器的性能。一方面,通過材料科學(xué)的創(chuàng)新,探索新型的過濾材料,進一步提高過濾介質(zhì)的過濾精度、機械強度和化學(xué)穩(wěn)定性,以適應(yīng)更加嚴(yán)苛的超高純氣體工藝需求。另一方面,借助先進的模擬仿真技術(shù),對過濾器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和氣體流場進行優(yōu)化設(shè)計,提高過濾效率,降低能源消耗,為客戶提供更加高效、節(jié)能的過濾解決方案。同時,恒歌也將緊密關(guān)注行業(yè)動態(tài)和客戶需求,不斷拓展 BF 系列過濾器的應(yīng)用領(lǐng)域,為推動各行業(yè)的技術(shù)進步和高質(zhì)量發(fā)展貢獻力量。

恒歌 BF 系列氣體過濾器以其 0.003μm 的卓越過濾精度,在超高純氣體工藝領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的關(guān)鍵作用。它不僅滿足了當(dāng)前半導(dǎo)體、制藥、電子等行業(yè)的嚴(yán)苛需求,更為未來相關(guān)行業(yè)的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)升級提供了堅實的支撐。


發(fā)布時間 25-04-11